机械制造与自动化2010，Vol.39Issue(2)：35-38,79,5.
小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发
Study and Development of Miniature Hot-filament CVD Diamond Film Deposition Equipment
摘要
关键词
CVD金刚石膜/小型化/热丝化学气相沉积/摆动衬底分类
机械制造引用本文复制引用
吴小军,左敦稳,徐锋,卢文壮,林欢庆..小型化热丝CVD金刚石膜沉积设备的研究与开发[J].机械制造与自动化,2010,39(2):35-38,79,5.基金项目
江苏省自然科学基金(No.BK2007193, No.BK2008382) （No.BK2007193, No.BK2008382）
南京航空航天大学创新基金(No.20080109107261) （No.20080109107261）
中国博士后科学基金(No.20090461144) （No.20090461144）
江苏省博士后科学基金(No.0802025B)资助 （No.0802025B）
