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利用典型Si(100)微结构对原子力显微镜探针参数进行表征

韩国强 景蔚萱 蒋庄德 朱明智

计量学报2010，Vol.31Issue(5)：426-429,4.
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计量学报2010，Vol.31Issue(5)：426-429,4.DOI:10.3969/j.issn.1000-1158.2010.05.10

利用典型Si(100)微结构对原子力显微镜探针参数进行表征

Characterization of AFM Tip Parameters with Typical Si (100) Microstructures

韩国强 1景蔚萱 1蒋庄德 1朱明智2

作者信息

  • 1. 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,陕西,西安,710049
  • 2. 中国工程物理研究院总体工程研究所,四川,绵阳,621900
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/MEMS/各向异性化学湿法刻蚀/原子力显微镜/线宽测量/探针表征

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

韩国强,景蔚萱,蒋庄德,朱明智..利用典型Si(100)微结构对原子力显微镜探针参数进行表征[J].计量学报,2010,31(5):426-429,4.

基金项目

国家自然科学基金(50535030,90923001) （50535030,90923001）

西安交通大学交叉学科项目(2009xjtujc16) （2009xjtujc16）

计量学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-1158

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