测试技术学报2010，Vol.24Issue(5)：444-448,5.DOI:10.3969/j.issn.1671-7449.2010.05.016
硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析
Mechanical Simulation of Silicon-Based Antiferroelectric Thin Film Microcantilever
摘要
关键词
反铁电薄膜(PLZT)/微悬臂梁/应变效应/力学行为/仿真分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赵振宇,卢荻,丑修建,刘俊..硅基反铁电薄膜微悬臂梁力学仿真分析[J].测试技术学报,2010,24(5):444-448,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(60806039) （60806039）
中国博士后科学基金资助项目(20090461275) （20090461275）
山西省基础研究计划项目(20100210023-6) （20100210023-6）
