物理学报2010，Vol.59Issue(10)：7164-7169,6.
非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合
Electrostatic oscillation and coupling resonance in double trap of unbalanced magnetron sputtering
摘要
关键词
等离子体/磁控溅射/驻波/共振引用本文复制引用
牟宗信,牟晓东,贾莉,王春,董闯..非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合[J].物理学报,2010,59(10):7164-7169,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:50407015)资助的课题. （批准号:50407015）
