实验科学与技术2010，Vol.8Issue(2)：39-42,4.
均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用
Application of Uniform Design in the Technology Parameter Optimization of Desmear Process
摘要
关键词
均匀设计/回归分析/等离子体/去钻污分类
数理科学引用本文复制引用
薛卫东,何为,王守绪,陈兆霞,张敏,陈浪,何波,万永东..均匀设计法在去钻污工艺优化中的应用[J].实验科学与技术,2010,8(2):39-42,4.基金项目
四川省科技支撑项目(2009GZ0013). （2009GZ0013）
