光学精密工程2010，Vol.18Issue(11)：2430-2436,7.DOI:10.3788/OPE.20101811.2430
力反馈式微机械加速度计刚度的自适应调整
Adapting adjustment of stiffness for force feedback micro accelerometer
摘要
关键词
微机械加速度计/自适应控制/刚度/变预载/分辨率分类
机械制造引用本文复制引用
李童杰,刘云峰,董景新,范达..力反馈式微机械加速度计刚度的自适应调整[J].光学精密工程,2010,18(11):2430-2436,7.基金项目
国家"十一五"预研项目(No.51308050208) （No.51308050208）
