光学精密工程2009，Vol.17Issue(12)：2887-2892,6.
膜片式微型F-P腔光纤压力传感器
Diaphragm based miniature fiber optic pressure sensor with F-P cavity
摘要
关键词
光纤Fabry-Perot腔/微型压力传感器/石英膜片/聚合物膜片Key words
optical fiber Fabry-Perot cavity/miniature pressure sensor/quartzose diaphragm/polymer diaphragm分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
于清旭,贾春艳..膜片式微型F-P腔光纤压力传感器[J].光学精密工程,2009,17(12):2887-2892,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60677010) （No.60677010）
