硅酸盐学报2010，Vol.38Issue(1)：21-24,4.
金属有机化学气相沉积法制备Al掺杂ZnO透明导电膜
TRANSPARENT CONDUCTIVE ALUMINIUM-DOPED ZINC OXIDE FILM PREPARED BY METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
谢春燕 1张跃1
作者信息
- 1. 北京航空航天大学材料学院,空天材料与服役教育部重点实验室,北京,100191
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摘要
关键词
金属有机化学气相沉积/铝掺杂氧化锌/透明导电薄膜Key words
metal organic chemical vapor deposition/aluminium doped zinc oxide/transparent conductive film分类
化学化工引用本文复制引用
谢春燕,张跃..金属有机化学气相沉积法制备Al掺杂ZnO透明导电膜[J].硅酸盐学报,2010,38(1):21-24,4.
