湖南大学学报（自然科学版）2010，Vol.37Issue(11)：55-59,5.
陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控
Stress Control of Metalized Copper Thin Film on AlN Ceramic Surface
周灵平 1陈道瑞 2彭坤 1朱家俊 1汪明朴1
作者信息
- 1. 湖南大学,材料科学与工程学院,湖南,长沙,410082
- 2. 中南大学,材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083
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摘要
关键词
金属化/薄膜/应力/AlN/沉积温度分类
通用工业技术引用本文复制引用
周灵平,陈道瑞,彭坤,朱家俊,汪明朴..陶瓷表面金属化Cu薄膜应力调控[J].湖南大学学报（自然科学版）,2010,37(11):55-59,5.
