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大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究

张营营李成明陈良贤刘金龙黑立富吕反修

金刚石与磨料磨具工程2010，Vol.30Issue(5)：44-48,5.

金刚石与磨料磨具工程2010，Vol.30Issue(5)：44-48,5.DOI:10.3969/j.issn.1006-852X.2010.05.009

Uniformity of large area diamond film/Si composite piece

张营营 ¹李成明 ¹陈良贤 ¹刘金龙 ¹黑立富 ¹吕反修¹

作者信息

金刚石膜/均匀性/真空退火/表面粗糙度

化学化工

张营营,李成明,陈良贤,刘金龙,黑立富,吕反修..大面积金刚石膜/Si衬底复合片均匀性研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2010,30(5):44-48,5.

863计划支持项目(2008AA03Z408) （2008AA03Z408）

OA北大核心CSTPCD

ISSN：1006-852X

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