人工晶体学报2010，Vol.39Issue(6)：1412-1416,5.
靶与衬底之间的距离对ZnO:Zr透明导电薄膜性能的影响
Effect of Target-to-substrate Distance on the Properties of Zirconium-doped Zinc Oxide Transparent Conductive Films
摘要
关键词
靶与衬底之间的距离/ZnO:Zr/透明导电薄膜/磁控溅射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张化福,陈钦生,刘汉法..靶与衬底之间的距离对ZnO:Zr透明导电薄膜性能的影响[J].人工晶体学报,2010,39(6):1412-1416,5.基金项目
山东省自然科学基金(ZR2009GQ011)资助项目 （ZR2009GQ011）
