云南冶金2010，Vol.39Issue(5)：44-47,4.
三氯氢硅合成工艺及控制
Process and Control of Trichlorosilane Synthesis
李文光 1李光茜 1罗平 1谭宗国1
作者信息
- 1. 昆明冶研新材料股份有限公司,云南,昆明,650031
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摘要
关键词
三氯氢硅/流化态沸腾炉/串级控制/比例控制分类
化学化工引用本文复制引用
李文光,李光茜,罗平,谭宗国..三氯氢硅合成工艺及控制[J].云南冶金,2010,39(5):44-47,4.
