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微加速度计冲击可靠性及防护

王世涛 贾玉斌 张斌珍 黄钦文 郝一龙

传感技术学报2010,Vol.23Issue(12):1690-1694,5.
传感技术学报2010,Vol.23Issue(12):1690-1694,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2010.12.004

微加速度计冲击可靠性及防护

Study on Reliability and Cushion for Micro Accelerometer in Shock Environment

王世涛 1贾玉斌 2张斌珍 1黄钦文 1郝一龙2

作者信息

  • 1. 北京大学微电子学研究院,微米纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871
  • 2. 工业和信息化部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州,510610
  • 折叠

摘要

关键词

微加速度计/可靠性/冲击/缓冲材料/金属橡胶

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王世涛,贾玉斌,张斌珍,黄钦文,郝一龙..微加速度计冲击可靠性及防护[J].传感技术学报,2010,23(12):1690-1694,5.

基金项目

电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级科技重点实验室开放基金资助(ZHD201004) (ZHD201004)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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