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退火对AlCN非晶薄膜结构及力学性能的影响

罗庆洪 陆永浩 娄艳芝 李春志 赵振业

北京科技大学学报2010,Vol.32Issue(12):1574-1579,1590,7.
北京科技大学学报2010,Vol.32Issue(12):1574-1579,1590,7.

退火对AlCN非晶薄膜结构及力学性能的影响

Annealing effect on the microstructure and mechanical properties of amorphous AlCN films

罗庆洪 1陆永浩 2娄艳芝 1李春志 1赵振业1

作者信息

  • 1. 北京航空材料研究院,北京100095
  • 2. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083
  • 折叠

摘要

关键词

非晶薄膜/显微结构/力学性能/退火

分类

金属材料

引用本文复制引用

罗庆洪,陆永浩,娄艳芝,李春志,赵振业..退火对AlCN非晶薄膜结构及力学性能的影响[J].北京科技大学学报,2010,32(12):1574-1579,1590,7.

北京科技大学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

2095-9389

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