北京科技大学学报2010,Vol.32Issue(12):1574-1579,1590,7.
退火对AlCN非晶薄膜结构及力学性能的影响
Annealing effect on the microstructure and mechanical properties of amorphous AlCN films
罗庆洪 1陆永浩 2娄艳芝 1李春志 1赵振业1
作者信息
- 1. 北京航空材料研究院,北京100095
- 2. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京100083
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摘要
关键词
非晶薄膜/显微结构/力学性能/退火分类
金属材料引用本文复制引用
罗庆洪,陆永浩,娄艳芝,李春志,赵振业..退火对AlCN非晶薄膜结构及力学性能的影响[J].北京科技大学学报,2010,32(12):1574-1579,1590,7.