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退火对Al-Sb多层薄膜的影响

贺剑雄武莉莉郝霞郑家贵冯良桓张静全

无机材料学报2010，Vol.25Issue(1)：27-31,5.

无机材料学报2010，Vol.25Issue(1)：27-31,5.DOI:10.3724/SP.J.1077.2010.00027

Effect of Annealing on Al-Sb Multilayer Films

贺剑雄 ¹武莉莉 ¹郝霞 ¹郑家贵 ¹冯良桓 ¹张静全¹

作者信息

Al-Sb薄膜/磁控溅射法/退火

信息技术与安全科学

贺剑雄,武莉莉,郝霞,郑家贵,冯良桓,张静全..退火对Al-Sb多层薄膜的影响[J].无机材料学报,2010,25(1):27-31,5.

国家高技术研究与发展计划(2006AA052418) （2006AA052418）

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1000-324X

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