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飞秒激光热反射系统测量金属薄膜中的热波

王海东 马维刚 张兴 王玮

物理学报2010,Vol.59Issue(6):3856-3862,7.
物理学报2010,Vol.59Issue(6):3856-3862,7.

飞秒激光热反射系统测量金属薄膜中的热波

Measurement of the thermal wave in metal films using femtosecond laser thermoreflectance system

王海东 1马维刚 1张兴 1王玮2

作者信息

  • 1. 清华大学航天航空学院,热科学与动力工程教育部重点实验室,北京,100084
  • 2. 北京大学微电子学研究院,北京,100871
  • 折叠

摘要

关键词

飞秒激光热反射系统/热波/双曲两步模型/电子弛豫时间

引用本文复制引用

王海东,马维刚,张兴,王玮..飞秒激光热反射系统测量金属薄膜中的热波[J].物理学报,2010,59(6):3856-3862,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:50676046,50730006,50976053)资助的课题. (批准号:50676046,50730006,50976053)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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