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脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能

李红凯 林国强 董闯

物理学报2010,Vol.59Issue(6):4296-4302,7.
物理学报2010,Vol.59Issue(6):4296-4302,7.

脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能

Composition,microstructure and properties of C-N-V films prepared by pulsed bias arc ion plating

李红凯 1林国强 1董闯1

作者信息

  • 1. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,大连116085
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摘要

关键词

C-N-V薄膜/类金刚石薄膜/纳米复合薄膜/电弧离子镀

引用本文复制引用

李红凯,林国强,董闯..脉冲偏压电弧离子镀C-N-V薄膜的成分、结构与性能[J].物理学报,2010,59(6):4296-4302,7.

基金项目

国家高技术研究发展计划(批准号:2006AA03Z521)资助的课题. (批准号:2006AA03Z521)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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