安徽大学学报（自然科学版）2009，Vol.33Issue(3)：65-68,4.
射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究
Microstructure and optical characteristics of Si thin films
摘要
关键词
射频磁控溅射/微结构/光学性质/原子力显微镜Key words
RF magnetron sputtering/microstructure/optical properties/atomic force microscope分类
数理科学引用本文复制引用
宋学萍,王佩红,孙兆奇..射频溅射Si膜的微结构与光学性质研究[J].安徽大学学报（自然科学版）,2009,33(3):65-68,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50642038) （50642038）
教育部博士点专项基金资助项目(20060357003) （20060357003）
安徽省自然科学基金资助项目(01044901) （01044901）
安徽省教育厅科研基金资助项目(2004kj030) （2004kj030）
安徽省人才专项基金资助项目(2004Z029) （2004Z029）
安徽省信息材料与器件重点实验室(安徽大学)开放基金资助项目 （安徽大学）
