物理学报2010，Vol.59Issue(7)：5122-5127,6.
激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究
Laser induced rear-surface-crack damage properties of fused silica etched with HF solution
摘要
关键词
熔石英/后表面划痕/宽深比/损伤特性引用本文复制引用
王凤蕊,黄进,刘红婕,周信达,蒋晓东,吴卫东,郑万国..激光诱导HF酸刻蚀后熔石英后表面划痕的损伤行为研究[J].物理学报,2010,59(7):5122-5127,6.基金项目
国家高技术研究发展计划(批准号:2008AA8040508 )资助的课题. （批准号:2008AA8040508 ）
