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掠入射X射线散射法测量超光滑表面

王永刚孟艳丽马文生陈斌陈波

光学精密工程2010，Vol.18Issue(1)：60-68,9.

掠入射X射线散射法测量超光滑表面

Measurement of super-smooth surface by grazing X-ray scattering method

王永刚 ¹孟艳丽 ²马文生 ¹陈斌 ²陈波³

作者信息

1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
2. 中国科学院,研究生院,北京,100039
3. 东北师范大学,物理系,吉林,长春,130033
折叠

摘要

关键词

掠入射X射线散射法/超光滑表面/微扰理论/功率谱密度(PSD)/原子力显微镜(AFM)/系统误差

Key words

Grazing-incidence X-ray Scattering(GXRS)/super-smooth surface/perturbation theory/Power Spectral Density(PSD)/Atomic Force Microscope(AFM)/systematic error

分类

数理科学

引用本文复制引用

王永刚,孟艳丽,马文生,陈斌,陈波..掠入射X射线散射法测量超光滑表面[J].光学精密工程,2010,18(1):60-68,9.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(No.40774098 （）

No.10878004) （）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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