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真空紫外硅闪耀光栅的制作

盛斌徐向东刘颖洪义麟付绍军

光学精密工程2010，Vol.18Issue(1)：94-99,6.

Vacuum-ultraviolet blazed silicon grating anisotropically etched in KOH solution

盛斌 ¹徐向东 ¹刘颖 ¹洪义麟 ¹付绍军¹

作者信息

闪耀光栅/单晶硅/各向异性湿法刻蚀/真空紫外/掩模

blazed grating/Monocrystalline silicon/anisotropic wet etching/vacuum ultraviolet/mask

信息技术与安全科学

盛斌,徐向东,刘颖,洪义麟,付绍军..真空紫外硅闪耀光栅的制作[J].光学精密工程,2010,18(1):94-99,6.

国家自然科学基金资助项目(No.10875128) （No.10875128）

中国博士后科学基金资助项目(No.20090460727) （No.20090460727）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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