电子器件2009，Vol.32Issue(4)：725-728,4.
激光能量对脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜性能的影响
Effect of Laser Energy on the Properties of ZnO Films by Pulsed Laser Deposition Method
摘要
关键词
ZnO薄膜/激光能量/脉冲激光沉积分类
数理科学引用本文复制引用
贾芳,曹培江,曾玉祥..激光能量对脉冲激光沉积法制备ZnO薄膜性能的影响[J].电子器件,2009,32(4):725-728,4.基金项目
国家自然科学基金资助(10674133,10604041) （10674133,10604041）
广东省自然科学基金资助 （）
深圳市产学研科技合作资助(Y2005002) （Y2005002）
深圳市科技计划资助(200604,200706) （200604,200706）
深圳市南山区科技研发资金资助项目(南科院2008012) （南科院2008012）
