光学精密工程2008，Vol.16Issue(10)：1928-1935,8.
基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验
Modification of silicon absorbing coefficient in laser bending experiment
摘要
关键词
激光弯曲/吸收系数/脉冲激光/硅片分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
王续跃,胡亚峰,许卫星,吴东江..基于吸收系数修正的硅片激光弯曲模拟与实验[J].光学精密工程,2008,16(10):1928-1935,8.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.52090101) （No.52090101）
同家863高技术计划研究发展计划资助项14(No.2002AA421230) （No.2002AA421230）
辽宁省自然科学基金资助项目(No.20062181) （No.20062181）
