工程设计学报2010,Vol.17Issue(5):345-349,5.DOI:10.3785/j.issn.1006-754X.2010.05.006
雪崩光电二极管高精度三维微调架结构设计与分析
Design and analysis of high precision three-dimensional fine-tuning frame for avalanche photodiode
摘要
关键词
雪崩光电二极管/精密微调/结构设计/有限元分析/振动测试分类
机械制造引用本文复制引用
秦少伟,高云国,司丽娜,于萍,聂晓倩..雪崩光电二极管高精度三维微调架结构设计与分析[J].工程设计学报,2010,17(5):345-349,5.基金项目
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所三期创新工程资助项目(061X20C060). (061X20C060)