中国机械工程2010，Vol.21Issue(7)：847-851,5.
单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析
Study and FEM Analysis on Discharge Erosion Mechanism of Monocrystalline Silicon
摘要
关键词
单晶硅/电火花/蚀除机理/有限元Key words
monocrystalline silicon/electric discharge machining(EDM)/erosion mechanism/finite element分类
矿业与冶金引用本文复制引用
李健,刘志东,邱明波,田宗军,汪炜..单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析[J].中国机械工程,2010,21(7):847-851,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50975142) （50975142）
江苏省工业支撑计划资助项目(BE2009161) （BE2009161）
