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钼圆片小黑点形成的原因分析

王引婷 刘仁智 王峰

中国钼业2010,Vol.34Issue(2):46-48,3.
中国钼业2010,Vol.34Issue(2):46-48,3.

钼圆片小黑点形成的原因分析

ANALYSIS OF THE REASONS FOR THE FORMATION OF LITTLE BLACK SPOTS ON MOLYBDENUM WAFERS

王引婷 1刘仁智 1王峰1

作者信息

  • 1. 金堆城钼业股份有限公司,陕西,西安,710077
  • 折叠

摘要

关键词

小黑点/研磨剂/团聚块/烧结

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

王引婷,刘仁智,王峰..钼圆片小黑点形成的原因分析[J].中国钼业,2010,34(2):46-48,3.

中国钼业

OACSTPCD

1006-2602

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