表面技术2010，Vol.39Issue(4)：77-82,6.
原子层沉积前驱体材料的研究进展
The Research Progress of Precursors for Atomic Layer Deposition
摘要
关键词
原子层沉积/前驱体/材料分类
矿业与冶金引用本文复制引用
袁军平,李卫,郭文显..原子层沉积前驱体材料的研究进展[J].表面技术,2010,39(4):77-82,6.基金项目
广州市教育局科研项目(08C013) （08C013）
广州市教育系统首批建设创新学术团队项目(穗教科2009-11) （穗教科2009-11）
