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基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究

许路加 胡明 杨海波 杨孟琳 张洁

物理学报2010,Vol.59Issue(12):8794-8800,7.
物理学报2010,Vol.59Issue(12):8794-8800,7.

基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究

Study on thermal conductivity of porous silicon thermal isolation layer based on micro-structure mathematical model

许路加 1胡明 1杨海波 1杨孟琳 1张洁1

作者信息

  • 1. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072
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摘要

关键词

多孔硅/热导率/绝热层/孔隙率

引用本文复制引用

许路加,胡明,杨海波,杨孟琳,张洁..基于微结构参数建模的多孔硅绝热层热导率研究[J].物理学报,2010,59(12):8794-8800,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60371030,60771019)和先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室研究基金(批准号:ACMT-2008-05)资助的课题. (批准号:60371030,60771019)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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