物理学报2010，Vol.59Issue(12)：8920-8926,7.
射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究
Frictional properties of fluorinated diamond-like carbon films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering
摘要
关键词
摩擦性能/射频反应磁控溅射/氟化类金刚石薄膜引用本文复制引用
王培君,江美福,杜记龙,戴永丰..射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究[J].物理学报,2010,59(12):8920-8926,7.
