传感技术学报2010，Vol.23Issue(11)：1560-1564,5.DOI:10.3969/j.issn.1004-1699.2010.11.009
一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计
Improvement of MEMS Gyroscope Interface Circuit in 0.5μm CMOS Technics
摘要
关键词
MEMS陀螺/高精度/电容分辨率/CMOS分类
机械制造引用本文复制引用
陈方,常洪龙,苑伟政,赵海涛..一种用于MEMS陀螺的高精度电容读出电路的设计[J].传感技术学报,2010,23(11):1560-1564,5.基金项目
"863"国家高技术研究发展计划资助(2009AA04Z320) （2009AA04Z320）
