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电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜

邓文渊 李春 金春水

中国光学与应用光学2010，Vol.3Issue(6)：630-636,7.
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中国光学与应用光学2010，Vol.3Issue(6)：630-636,7.

电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜

Ultraviolet HfO2 thin film by e-beam evaporation and ion beam sputtering

邓文渊 1李春 1金春水1

作者信息

  • 1. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
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摘要

关键词

薄膜光学/电子束蒸发/离子束溅射/高反射镜/X射线衍射术/X射线光电子能谱

分类

数理科学

引用本文复制引用

邓文渊,李春,金春水..电子束蒸发和离子束溅射HfO2紫外光学薄膜[J].中国光学与应用光学,2010,3(6):630-636,7.

基金项目

国家重大科技专项 （）

中国光学与应用光学

2095-1531

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