|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|大连理工大学学报|聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

杜立群 王煜 王启佳 陈莉

大连理工大学学报2010，Vol.50Issue(6)：907-911,5.
✕
大连理工大学学报2010，Vol.50Issue(6)：907-911,5.

聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究

Experimental study of ultrasonic stress relief used in SU-8 photoresist

杜立群 1王煜 2王启佳 2陈莉1

作者信息

  • 1. 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 2. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024
  • 折叠

摘要

关键词

超声时效/SU-8光刻胶/内应力测量

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

杜立群,王煜,王启佳,陈莉..聚合物SU-8光刻胶超声时效实验研究[J].大连理工大学学报,2010,50(6):907-911,5.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50675025). （50675025）

大连理工大学学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-8608

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文