无机材料学报2010，Vol.25Issue(12)：1233-1241,9.DOI:10.3724/SP.J.1077.2010.01233
固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展
Progress in Materials Used for Solidly Mounted Film Bulk Acoustic Resonators
摘要
关键词
固贴式薄膜体声波谐振器/压电薄膜/布拉格反射栅/电极薄膜/综述分类
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刘罡,朱嘉琦,王赛,陆晓欣,刘远鹏,霍施宇,袁欣薇..固贴式薄膜体声波谐振器用材料体系研究进展[J].无机材料学报,2010,25(12):1233-1241,9.基金项目
国家自然科学基金(51072039) （51072039）
高等学校博士点学科专项科研基金(200802131006) （200802131006）
黑龙江省自然科学青年基金(QC2009C56) （QC2009C56）
