材料科学与工程学报2010，Vol.28Issue(6)：848-851,933,5.
AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性
Reproducibility of Nanofabrication on Thin Polymethyl Methacrylate Film by Tip-enhancement Effect
摘要
关键词
飞秒激光/AFM/纳米加工/PMMA分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
周明,范晓萌,言峰,李健,王静静,蔡兰..AFM针尖耦合激光加工PMMA薄膜的加工重复性[J].材料科学与工程学报,2010,28(6):848-851,933,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50975129) （50975129）
