表面技术2010，Vol.39Issue(6)：22-25,4.
复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究
Study on TiAlN Films Deposited by Composite Technology and Its Thermal Anti-oxidation Property
摘要
关键词
TiAlN薄膜/TiN薄膜/抗高温氧化性能/中频磁控溅射/电弧离子镀分类
矿业与冶金引用本文复制引用
林小东,宋绪丁,傅高升..复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究[J].表面技术,2010,39(6):22-25,4.基金项目
福建省教育厅A类科技项目基金资助(JA07205) （JA07205）
