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AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

李永富 唐恒敬 朱耀明 李淘 殷豪 李天信 李雪 龚海梅

红外与毫米波学报2010，Vol.29Issue(6)：401-405,5.
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红外与毫米波学报2010，Vol.29Issue(6)：401-405,5.

AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用

OPTIMUM GUARD-RING FOR PLANAR InP/InGaAs PHOTODIODE: CHARACTERIZED WITH AFM, SCM and LBIC

李永富 1唐恒敬 2朱耀明 3李淘 1殷豪 2李天信 1李雪 2龚海梅3

作者信息

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200083
  • 2. 中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083
  • 3. 中国科学院研究生院,北京,100039
  • 折叠

摘要

关键词

扫描电容显微镜(SCM)/激光束诱导电流(LBIC)/光生载流子扩散/保护环/InP/InGaAs

Key words

scanning capacitance microscopy(SCM)/laser beam induced current(LBIC)/photo-carrier diffusion/guard-ring/InP/InGaAs

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

李永富,唐恒敬,朱耀明,李淘,殷豪,李天信,李雪,龚海梅..AFM/SCM及LBIC技术在平面型保护环结构InGaAs探测器设计中的应用[J].红外与毫米波学报,2010,29(6):401-405,5.

基金项目

Supported by Key Program of National Science Foundation of China(50632060) （50632060）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1001-9014

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