曲阜师范大学学报（自然科学版）2011，Vol.37Issue(1)：48-50,3.
基板温度对电子束沉积LaF3薄膜残余应力的影响
Substrate Temperature's Effects on Residual Stress of LaF3 Films Prepared by Electron Beam Gun Evaporation
郝殿中 1韩培高 1马丽丽 1苏富芳 1宋连科1
作者信息
- 1. 山东省激光偏光与信息技术重点实验室,曲阜师范大学激光研究所,273165,山东省曲阜市
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摘要
关键词
光学薄膜/基板温度/残余应力/电子束沉积/LaF3分类
数理科学引用本文复制引用
郝殿中,韩培高,马丽丽,苏富芳,宋连科..基板温度对电子束沉积LaF3薄膜残余应力的影响 [J].曲阜师范大学学报（自然科学版）,2011,37(1):48-50,3.
