中国机械工程2010，Vol.21Issue(1)：46-50,5.
基于结构组件库的MEMS概念设计方法
Structural Element Library Based Conceptual Design Methodology of MEMS
摘要
关键词
MEMS概念设计/结构组件/功能分解/行为匹配/剪应力传感器Key words
MEMS conceptual design/structural element/functional decomposition/behavior match/shear stress sensor分类
机械制造引用本文复制引用
马炳和,王辉,苑伟政..基于结构组件库的MEMS概念设计方法[J].中国机械工程,2010,21(1):46-50,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50775188) （50775188）
国家863高技术研究发展计划资助项目(2007AA04Z347) （2007AA04Z347）
