西北师范大学学报（自然科学版）2010，Vol.46Issue(3)：39-43,5.
靶衬间距对脉冲激光沉积薄膜均匀性的影响
The effect of target-to-substrate distance on the uniformity of thin films prepared by pulse laser deposition
摘要
关键词
脉冲激光沉积(PLD)/靶衬间距/均匀性分类
数理科学引用本文复制引用
王成伟,马军满,陈建彪..靶衬间距对脉冲激光沉积薄膜均匀性的影响 [J].西北师范大学学报（自然科学版）,2010,46(3):39-43,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10974155,10774121) （10974155,10774121）
甘肃省自然科学基金资助项目(0803RJZA102) （0803RJZA102）
甘肃省高等学校研究生导师科研项目(0801-09) （0801-09）
西北师范大学科技创新工程项目(NWNU-KJCXGC-03-22) （NWNU-KJCXGC-03-22）
