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溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

沈军 刘源 李晓光

硅酸盐学报2010,Vol.38Issue(11):2054-2058,5.
硅酸盐学报2010,Vol.38Issue(11):2054-2058,5.

溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

SURFACE MODIFICATION AND CONTAMINATION RESISTANCE OF SOL-GEL SiO2 DERIVED ANTIREFLECTIVE COATINGS

沈军 1刘源 1李晓光2

作者信息

  • 1. 同济大学波耳固体物理研究所,上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室,上海200092
  • 2. 上海理工大学理学院,上海200090
  • 折叠

摘要

关键词

溶胶-凝胶/二氧化硅减反薄膜/表面修饰/抗污染性/硅烷化

分类

数理科学

引用本文复制引用

沈军,刘源,李晓光..溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性[J].硅酸盐学报,2010,38(11):2054-2058,5.

基金项目

国家自然科学基金(11074189,50802064,50752001) (11074189,50802064,50752001)

国家科技支撑计划(2009BAC62B02) (2009BAC62B02)

国家"863"计划 ()

上海市科委(09520714300,10520706800,0952nm00700)资助项目. (09520714300,10520706800,0952nm00700)

硅酸盐学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

0454-5648

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