硅酸盐学报2010,Vol.38Issue(11):2054-2058,5.
溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性
SURFACE MODIFICATION AND CONTAMINATION RESISTANCE OF SOL-GEL SiO2 DERIVED ANTIREFLECTIVE COATINGS
摘要
关键词
溶胶-凝胶/二氧化硅减反薄膜/表面修饰/抗污染性/硅烷化分类
数理科学引用本文复制引用
沈军,刘源,李晓光..溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性[J].硅酸盐学报,2010,38(11):2054-2058,5.基金项目
国家自然科学基金(11074189,50802064,50752001) (11074189,50802064,50752001)
国家科技支撑计划(2009BAC62B02) (2009BAC62B02)
国家"863"计划 ()
上海市科委(09520714300,10520706800,0952nm00700)资助项目. (09520714300,10520706800,0952nm00700)