农业机械学报2010，Vol.41Issue(5)：198-203,6.DOI:10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040
基于模态叠加法的静电微泵吸合现象
Investigation of Electrostatic Micropump Pull-in Phenomena Based on Mode Superposition Method
摘要
关键词
微泵/吸合/静电/模态叠加/降阶模型分类
机械制造引用本文复制引用
应济,李俊,林谢昭,徐亮..基于模态叠加法的静电微泵吸合现象[J].农业机械学报,2010,41(5):198-203,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50475104)和浙江省自然科学基金重点资助项目(Z106519) （50475104）
