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二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作

崔乃迪梁静秋梁中翥周建伟宁永强王维彪

光学精密工程2010，Vol.18Issue(12)：2549-2556,8.

光学精密工程2010，Vol.18Issue(12)：2549-2556,8.DOI:10.3788/OPE.20101812.2549

Design and fabrication of two-dimensional photonic crystal waveguides on silicon films

崔乃迪 ¹梁静秋 ²梁中翥 ¹周建伟 ¹宁永强 ¹王维彪²

作者信息

光子晶体/二维光子晶体波导/三角晶格空气孔/聚焦离子束刻蚀

数理科学

崔乃迪,梁静秋,梁中翥,周建伟,宁永强,王维彪..二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作[J].光学精密工程,2010,18(12):2549-2556,8.

国家自然科学基金资助项目(No.60877031) （No.60877031）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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