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增强型AlGaN/CaN高电子迁移率晶体管高温退火研究

王冲 全思 马晓华 郝跃 张进城 毛维

物理学报2010,Vol.59Issue(10):7333-7337,5.
物理学报2010,Vol.59Issue(10):7333-7337,5.

增强型AlGaN/CaN高电子迁移率晶体管高温退火研究

High temperature annealing of enhancement-mode AlGaN/GaN high-electron-mobility transistors

王冲 1全思 1马晓华 1郝跃 1张进城 1毛维1

作者信息

  • 1. 宽禁带半导体材科与器件重点实验室,西安电子科技大学微电子学院,西安710071
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摘要

关键词

高电子迁移率晶体管/AlGaN/GaN/增强型器件

引用本文复制引用

王冲,全思,马晓华,郝跃,张进城,毛维..增强型AlGaN/CaN高电子迁移率晶体管高温退火研究[J].物理学报,2010,59(10):7333-7337,5.

基金项目

国家科技重大专项(批准号:2008ZX01002-002)、国家自然科学基金重大项目(批准号:60890191)、国家自然科学基金重点项目(批准号:60736033)、中国国防科技预研基金(批准号:51308030102)和西安电子科技大学回国人员创新基金资助的课题. (批准号:2008ZX01002-002)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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