光学精密工程2010，Vol.18Issue(12)：2616-2623,8.DOI:10.3788/OPE.20101812.2616
双面二维硅微条探测器的沾污失效分析及修复
Contamination failure analysis and repairing for double side two dimensional silicon microstrip detectors
摘要
关键词
半导体探测器/硅微条/P-N结/沾污/修复分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
韩励想,李占奎,鲁皖,胡钧,杨彦云,王柱生..双面二维硅微条探测器的沾污失效分析及修复[J].光学精密工程,2010,18(12):2616-2623,8.基金项目
中科院重要方向支持资助项目 （）
