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硬X射线相位光栅的设计与研制

刘鑫 雷耀虎 赵志刚 郭金川 牛憨笨

物理学报2010,Vol.59Issue(10):6927-6932,6.
物理学报2010,Vol.59Issue(10):6927-6932,6.

硬X射线相位光栅的设计与研制

Design and fabrication of hard x-ray phase grating

刘鑫 1雷耀虎 1赵志刚 1郭金川 1牛憨笨1

作者信息

  • 1. 深圳大学光电工程学院,光电子器件与系统教育部重点实验室,深圳,518060
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摘要

关键词

X射线/相衬成像/相位光栅/硅刻蚀/光助电化学刻蚀

引用本文复制引用

刘鑫,雷耀虎,赵志刚,郭金川,牛憨笨..硬X射线相位光栅的设计与研制[J].物理学报,2010,59(10):6927-6932,6.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(批准号:60232090)、广东省高等学校创新团队项目(批准号:06CXTD009)和深圳市科技局(批准号:2008340,JC200903130326A)资助的课题. (批准号:60232090)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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