天津师范大学学报（自然科学版）2011，Vol.31Issue(2)：32-37,6.
磁控溅射与电弧离子镀制备TiN薄膜的比较
Comparison of TiN films prepared by magnetron sputtering and arc ion plating
摘要
关键词
TiN/磁控溅射/电弧离子镀分类
数理科学引用本文复制引用
李鹏,黄美东,佟莉娜,张琳琳,王丽格,李晓娜..磁控溅射与电弧离子镀制备TiN薄膜的比较[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2011,31(2):32-37,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059) （61078059）
天津师范大学学术创新推进计划资助项目(52X09038) （52X09038）
