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调制比对TiB2/TiAlN纳米多层膜结构和机械性能的影响

刘思鹏 邓湘云 李德军

天津师范大学学报(自然科学版)2011,Vol.31Issue(2):42-45,4.
天津师范大学学报(自然科学版)2011,Vol.31Issue(2):42-45,4.

调制比对TiB2/TiAlN纳米多层膜结构和机械性能的影响

Influence of modulation ratio on structure and mechanical properties of nanoscale TiB2/TiAlN multilayered coatings

刘思鹏 1邓湘云 1李德军1

作者信息

  • 1. 天津师范大学,物理与电子信息学院,天津,300387
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摘要

关键词

磁控溅射/TiB2/TiAlN纳米多层膜/调制比/硬度

分类

数理科学

引用本文复制引用

刘思鹏,邓湘云,李德军..调制比对TiB2/TiAlN纳米多层膜结构和机械性能的影响[J].天津师范大学学报(自然科学版),2011,31(2):42-45,4.

基金项目

天津师范大学青年基金资助项目(52X09024) (52X09024)

天津师范大学学报(自然科学版)

1671-1114

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