中国钼业2011，Vol.35Issue(1)：7-11,5.
TFT-LCD制造用钼薄膜溅射及其靶材
MOLYBDENUM SPUTTERING FILM AND TARGET FOR TFT-LCD MANUFACTURE
赵宝华 1范海波 1孙院军2
作者信息
- 1. 金堆城钼业股份有限公司技术中心,陕西,西安,710077
- 2. 西北大学物理系,陕西,西安,710069
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摘要
关键词
薄膜晶体管液晶显示器/钼薄膜/钼靶材/磁控溅射分类
矿业与冶金引用本文复制引用
赵宝华,范海波,孙院军..TFT-LCD制造用钼薄膜溅射及其靶材[J].中国钼业,2011,35(1):7-11,5.
