基于透射光谱确定溅射Al2O3薄膜的光学常数OA北大核心CSCDCSTPCD
Determination of the optical constants of the magnetron sputtered aluminum oxide films from the transmission spectra
基于反应磁控溅射Al2O3薄膜的紫外一可见一近红外透射实验光谱,采用Swanepoel方法结合Wemple-DiDomenico色散模型,方便地导出了Al2O3薄膜在200-1100 nm波长范围内的光学常数,包括折射率、色散常数、膜层厚度、吸收系数及能量带隙.研究发现反应磁控溅射Al2O3薄膜具有高折射率(1.556-1.76,测试波长为550nm)、低吸收和直接能量带隙(3.91-4.20 eV)等光学特性,而且其光学常数对薄膜制备过程中的重…查看全部>>
By combining Swanepoel's theory and the Wemple-DiDomenico dispersion model, a simple method was established to determine the optical contants of the magnetron sputtered aluminum oxide films directly from the corresponding transmission spectra. The results showed that the magnetron sputtered aluminum oxide films exhibit the optical characteristics of high refractive index of 1. 566-1.76 ( at 550 nm), negligible absorption in spectral region of 4001100 …查看全部>>
廖国进;骆红;闫绍峰;戴晓春;陈明
辽宁工业大学机械工程与自动化学院,锦州121001中石油东北炼化工程有限公司锦州设计院,锦州121001辽宁工业大学机械工程与自动化学院,锦州121001辽宁工业大学机械工程与自动化学院,锦州121001辽宁工业大学机械工程与自动化学院,锦州121001
光学常数Swanepoel方法Al2O3薄膜热处理
optical constants, Swanepoel's method, Al2O3 films, annealing
《物理学报》 2011 (3)
颗粒硅带衬底上的大晶粒多晶硅薄膜研究
229-235,7
国家自然科学基金(批准号:50376067),辽宁省教育厅科学基金(批准号:2008316)资助的课题.
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