无机材料学报2011，Vol.26Issue(3)：P.257-260,4.
快速退火对Ni-Al-O栅介质结构和介电性能的影响
摘要
关键词
高k栅介质/Ni-Al-O薄膜/反应脉冲激光沉积分类
数理科学引用本文复制引用
李曼,刘保亭,王玉强,王宽冒..快速退火对Ni-Al-O栅介质结构和介电性能的影响[J].无机材料学报,2011,26(3):P.257-260,4.基金项目
国家自然科学基金(60876055 （）
11074063) （）
河北省自然科学基金(E2008000620 （）
E2009000207) （）
高等学校博士点基金(20091301110002) （20091301110002）
河北省应用基础研究计划重点基础研究项目(10963525D)~~ （10963525D）
